MEMS یا سیستمهای میکرو الکترومکانیکی
سیستمهای میکروالکترومکانیکی فناوری سیستمهای بسیار کوچک در ابعاد میکرومتر است.
قطعات الکترونیکی با استفاده از روال ساخت مدار مجتمع ساخته می‌شوند. عناصر میکروماشین از طریق فرایندهای ماشینکاری میکرونی تولید می‌شوند. بر این اساس بر حسب مورد، قسمتهایی از ویفر برداشته شده یا لایه‌های جدیدی به آن اضافه میشود.
MEMS با تلفیق میکروالکترونیک سیلیکونی با فناوری ماشینکاری میکرونی، نوید تحول در هر نوع محصولی می‌دهد.
به این ترتیب به سیستم روی یک تراشه جامه عمل پوشانده میشود.
MEMS فناوری توانایی است که با درک و کنترل قابلیتهای میکرو-سنسورها و میکرو-محرکها
موجب پیشرفت در تولیدات هوشمند میشود. همچنین فناوری بسیار گسترده و مستعدی است، چه در کاربرد و چه در نحوه ساخت و طراحی ابزارها.
